• 高速调制器如何突破瓶颈？薄膜铌酸锂材料与工艺全景指南

    薄膜铌酸锂在电光调制与集成光子领域展现出显著性能优势，通过高电光系数与低光损耗实现高速信号调控。在晶圆级制造路径中，磁控溅射镀膜与键合转移技术形成互补体系，可实现大面积均匀沉积与高质量晶体结构。围绕材料纯度、薄膜应力及界面缺陷控制，结合系统化检测手段，可持续优化器件性能。随着异质集成与高密度光子芯片发展，薄膜铌酸锂在通信与量子技术中应用空间持续拓展。

    넶1 2026-04-01

  • 改进研发钛合金件内外双靶材磁控溅射镀铝设备

    本文研究了钛合金件内外双靶材磁控溅射镀铝设备的改进。通过对现有设备的分析和问题检测，提出了改进方案并进行了实验验证。结果表明，改进后的设备可以更有效地实现钛合金件的镀铝处理，提高镀层的质量和稳定性。

    넶470 2023-04-25

  • 磁控溅射制备Ta-Cr非晶合金镀层及其性能

    本文采用真空磁控溅射法，采用双靶共溅射法，通过调节溅射功率制备了不同钽含量的Ta-Cr二元非晶合金涂层，并对涂层的表观形貌和物理性能进行了研究。研究过。的特征。研究了钽含量对涂层力学性能和耐腐蚀性能的影响。

    넶882 2023-03-20

  • 不锈钢基片镀ZnO薄膜的工艺与研究

    ZnO作为一种新型的光电材料，在光波导、半导体紫外激光器、发光器件、压电传感器和透明电极等方面有着广泛的应用本文综述了在不锈钢衬底上制备ZnO薄膜的方法和工艺......

    넶171 2023-03-03

  • 陶瓷靶材（氧化锌铝ZAO）制备及其薄膜性能研究

    研究了ZAO靶材与无氧铜的粘接性能、ZAO靶材与无氧铜的粘接性能。通过溶胶、凝胶方法制备的ZnO和Al2O3混合粉末经冷压预成型加真空低压烧结，制备了高致密度(相对密度99％)、低成本的ZAO陶瓷靶材。用中频交流磁控溅射ZAO靶材的工艺制备了ZAO薄膜。利用SEM扫描电镜和XRD分析测试了陶瓷靶材断口形貌以及靶材和薄膜的结构。

    넶215 2023-01-29