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陶瓷靶材（氧化锌铝ZAO）制备及其薄膜性能研究
研究了ZAO靶材与无氧铜的粘接性能、ZAO靶材与无氧铜的粘接性能。通过溶胶、凝胶方法制备的ZnO和Al2O3混合粉末经冷压预成型加真空低压烧结，制备了高致密度(相对密度99％)、低成本的ZAO陶瓷靶材。用中频交流磁控溅射ZAO靶材的工艺制备了ZAO薄膜。利用SEM扫描电镜和XRD分析测试了陶瓷靶材断口形貌以及靶材和薄膜的结构。
넶24 2023-01-29
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ITO靶材市场现状与发展趋势
ITO（氧化铟锡）靶材是溅射靶材中陶瓷靶材（化合物靶材）的一种，在显示靶材中占比将近50%。ITO靶材就是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结（1600度，通氧气烧结）形成的黑灰色陶瓷半导体。
넶37 2023-01-06
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半导体先进制程中的关键：CMP抛光材料
材料和设备是半导体产业的基石，是推动集成电路技术创新的引擎。一代技术依赖于一代工艺，一代工艺依赖一代材料和设备来实现。半导体材料处于整个半导体产业链的上游环节，对半导体产业发展起着重要支撑作用， 具有产业规模大、细分行业多、技术门槛高、更新速度快等特点。
넶21 2022-12-12
