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Na 掺杂 MoO3 陶瓷靶材的制备及其成膜性能研究

发布:2022-03-08

  • 钛合金件内外双靶材磁控溅射镀铝设备改进研发

    真空离子镀铝过程无三废即废水、废气、废渣产生,已成为广泛研究的热点。本文分析了真空离子磁控溅射镀铝设备原理结构和设计流程,引入闭合磁场非平衡磁控溅射技术思路,对比直流单靶材磁控溅射和内外双靶材磁控溅射中的电磁场分布和等离子体分布,将 2 个直流内单圆柱靶改制为 4 个磁极相对的内外双圆柱靶结构,构建内靶磁场和外靶磁场相反的闭合磁场,研发满足涂层综合性能要求且适于批量生产的镀铝设备,助推国内新型装备高质量发展和清洁节能生产。

    4 2022-03-04

发布:2022-03-04

  • 钛合金件内外双靶材磁控溅射镀铝设备改进研发

    真空离子镀铝过程无三废即废水、废气、废渣产生,已成为广泛研究的热点。本文分析了真空离子磁控溅射镀铝设备原理结构和设计流程,引入闭合磁场非平衡磁控溅射技术思路,对比直流单靶材磁控溅射和内外双靶材磁控溅射中的电磁场分布和等离子体分布,将 2 个直流内单圆柱靶改制为 4 个磁极相对的内外双圆柱靶结构,构建内靶磁场和外靶磁场相反的闭合磁场,研发满足涂层综合性能要求且适于批量生产的镀铝设备,助推国内新型装备高质量发展和清洁节能生产。

    4 2022-03-04

发布:2022-03-03

  • 多晶硅铸锭的退火降温和硅锭处理

    退火指提供一个环境使硅锭的温度以一个缓慢的速度趋于一致,并保持一段时间。退火可以消除硅锭内部的应力,还能把长晶过程中存在的位错等缺陷给与一定程度的消除,使得晶体不容易碎裂。即便长晶很顺利,退火不当也会造成硅锭的破裂。

    5 2022-04-17

发布:2022-03-01

  • 真空镀膜靶材为什么会发黑

    真空镀膜上下板颜色对不上,且张板两头颜色不样,(我们生产的是玫瑰金)另外是颜色发黑是什么?颜色发黑是因为炉体内有残留的空气和真空值低才会造成发黑现象。你的颜色不致可能是你的靶材的位置和基板的位置有差距,才会有色差

    4 2022-04-10

2022-05-09

2022-05-09

2022-04-15

2022-04-15

2022-04-15

2022-04-15

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