溅射背板材料的选择与使用

背板主要用于固定溅射靶材，需要具有良好的导电性和导热性。在磁控溅射镀膜过程中，靶材必须同时承受背面的冷却水压力和正面的真空负压，因此靶材背板显得尤为重要。

溅射靶分为面板和背板。根据材料的不同，溅射靶背板也不同。目前常用的溅射靶材背板材料主要有无氧铜、铜合金、钼合金和不锈钢管等背板材料。

背板最常用的材料是无氧铜，因为它具有良好的导电性和导热性，易于加工。如果保养得当，无氧铜背板可以重复使用十次以上。对于一些特殊的条件，如高温粘接。

铜背板在高温下容易氧化或翘曲，所以当铜背板和靶的热膨胀系数不匹配时，钼背板可以与一些热膨胀系数小的靶匹配。

目前，不锈钢管最常用作旋转靶的背管。不锈钢管具有良好的强度和导热性，非常经济。

首先，应将用过的底板从靶上取下，并对底板进行全面检查。检查重点包括背板的平整度、完整性和密封性。然后根据背板检查的结果，确认是否可以重复使用。大部分背板都是可重复使用的，特别是带铟的背板更容易清洁和重复使用。如果使用其他涂层剂（包括环氧树脂），背板表面可能需要在重复使用前进行机械处理。由于高纯度金属通常是软的，溅射靶需要安装在专用机器上来完成溅射过程。机内部处于高压、高真空的环境中。