什么是溅射靶?

 

溅射靶是用于在称为溅射沉积或薄膜沉积的技术中产生薄膜的材料。在此过程中,以固体开始的溅射靶材料被气态离子分解成微小颗粒,形成喷雾并涂覆另一种材料,这被称为基底。溅射沉积通常涉及半导体和计算机芯片的创建。因此,大多数溅射靶材料是金属元素或合金,尽管有一些陶瓷靶可用于为各种工具产生硬化薄涂层。  

 

 

发表时间:2022-04-20 10:58