靶材如何保养 国材从五大点来讲解

1、溅射靶材维护

为避免溅射过程中空腔不干净造成短路和起弧，需要分阶段清除沉积在溅射轨迹中间和两侧的堆积溅射材料。也有利于用户以最大功率密度连续溅射。
 

2、溅射靶材存储

我们建议用户将溅射材料（无论是金属还是陶瓷）储存在真空包装中。尤其是贴合靶材必须在真空条件下保存，以免粘附层氧化，影响靶材贴合质量。对于金属靶材的包装，我们建议至少使用干净的塑料袋。

3、溅射靶清洁

步骤 1用浸有丙酮的无绒软布清洁溅射靶材；
步骤 2与第一步类似，用酒精清洁目标；
步骤 3用去离子水清洗目标材料。之后，将目标物放入烘箱中并在 100 摄氏度下干燥 30 分钟。
步骤 4用高压、低湿气的氩气冲洗靶材，以去除任何可能在溅射系统中引起电弧的不纯颗粒。
 

4、短路和密封性检查

靶材安装好后，需要对整个阴极做短路检查和密封检查。建议用电阻表晃动手表来判断阴极是否短路。在确定阴极没有短路后，可以进行漏水检查，将水通入阴极，以确定是否有漏水现象。
 

5、包装与运输

所有目标都包装在带有防潮层的真空密封塑料袋中。外包装一般是一个木箱，四周有防撞层，以保护目标和背面目标在运输和储存过程中不受损坏。