真空镀膜时为什么会出现产品掉膜的现象?

真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 1、表面清洁度

 

产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。

 

 

2清洗过程中的问题

 

镀前清洗不到位,或更换了清洗液。

 

 

3、工艺的问题

 

工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。

 

 

4、靶材的问题

 

钛靶是否中毒,检查和更换。

 

 

5、真空腔是否漏气

 

进行次捡漏。

 

 

6、产品表面氧化

 

氧化的原因很多,可以自行判断处理。

发表时间:2022-03-30 17:06